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Proceedings : the second International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP '93

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Proceedings : the second International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP '93

国立国会図書館請求記号
M15-A8835
国立国会図書館書誌ID
000002306848
資料種別
図書
著者
organized by ISSP '93 Committeeほか
出版者
the Committee
出版年
1993
資料形態
ページ数・大きさ等
iv, 276 p. : ill. ; 30 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

1 paper ([10] p.) in pocket.Includes bibliographical references.ISSN: 0917-2440

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書誌情報

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資料種別
図書
著者・編者
organized by ISSP '93 Committee
supported by the Study Committee of Sputtering & Plasma Processes, Japan Technology Transfer Association
with the cooperation of the Japan Society of Applied Physics ... [et al.]
出版年月日等
1993
出版年(W3CDTF)
1993
数量
iv, 276 p. : ill.
大きさ
30 cm
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
eng