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新クリーンルームの運転・管理・清浄化ハンドブック

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新クリーンルームの運転・管理・清浄化ハンドブック

国立国会図書館請求記号
NA266-E53
国立国会図書館書誌ID
000002309077
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/13422856
資料種別
図書
著者
エヌ・ティー・エス 企画・編
出版者
エヌ・ティー・エス
出版年
1993.10
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
676, 11p ; 27cm
NDC
528.2
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資料に関する注記

一般注記:

監修: 早川一也, 浅田敏勝

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目次

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  • 目次

  • 発刊の趣旨/ 3

  • 第1章 序論クリーンルームの現状と課題/ 13

  • 第1節 建物内の空気汚染/ 14

  • 1. はじめに/ 14

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書誌情報

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デジタル

資料種別
図書
タイトルよみ
シン クリーン ルーム ノ ウンテン カンリ セイジョウカ ハンドブック
著者・編者
エヌ・ティー・エス 企画・編
著者標目
エヌティーエス エヌ ティー エス ( 00296005 )典拠
出版年月日等
1993.10
出版年(W3CDTF)
1993
数量
676, 11p
大きさ
27cm