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半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス (K books series ; 134)

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半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス

(K books series ; 134)

国立国会図書館請求記号
ND386-G88
国立国会図書館書誌ID
000002699075
資料種別
図書
著者
土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄 著
出版者
工業調査会
出版年
1998.7
資料形態
ページ数・大きさ等
307p ; 19cm
NDC
549.7
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-7693-1164-8
タイトルよみ
ハンドウタイ ヘイタンカ CMP ギジュツ : チョウ LSI セイゾウ ノ キー プロセス
著者・編者
土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄 著
シリーズタイトル
著者標目
土肥, 俊郎, 1947- ドイ, トシロウ, 1947- ( 00413159 )典拠
河西, 敏雄, 1936- カサイ, トシオ, 1936- ( 00399916 )典拠
中川, 威雄, 1938- ナカガワ, タケオ, 1938- ( 00051091 )典拠
出版年月日等
1998.7
出版年(W3CDTF)
1998