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北日本
北海道立図書館
紙- 549.8/HA
- 1105510612
宮城県図書館
紙- 549.7/1998.7
- 1004246789
秋田県立図書館
紙- 549.7/ドハ/
- 121686273
関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 549.7-ハン
- 100312909
東京都立中央図書館
紙- 5491-3198-98
- 1128588794
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書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-7693-1164-8
- タイトルよみ
- ハンドウタイ ヘイタンカ CMP ギジュツ : チョウ LSI セイゾウ ノ キー プロセス
- 著者・編者
- 土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄 著
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 土肥, 俊郎, 1947- ドイ, トシロウ, 1947- ( 00413159 )典拠河西, 敏雄, 1936- カサイ, トシオ, 1936- ( 00399916 )典拠中川, 威雄, 1938- ナカガワ, タケオ, 1938- ( 00051091 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1998.7
- 出版年(W3CDTF)
- 1998