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LIGAプロセス : 進展する三次元超微細加工技術

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LIGAプロセス : 進展する三次元超微細加工技術

国立国会図書館請求記号
NB51-G19
国立国会図書館書誌ID
000002705366
資料種別
図書
著者
中島尚正, 梅田章 監修ほか
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1998.8
資料形態
ページ数・大きさ等
272, 4p ; 22cm
NDC
532
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資料種別
図書
ISBN
4-526-04223-4
タイトルよみ
LIGA プロセス : シンテンスル サンジゲン チョウ ビサイ カコウ ギジュツ
著者・編者
中島尚正, 梅田章 監修
先端加工機械技術振興協会 編
著者標目
中島, 尚正, 1941- ナカジマ, ナオマサ, 1941- ( 00053474 )典拠
梅田, 章 ウメダ, アキラ ( 00690149 )典拠
先端加工機械技術振興協会 センタン カコウ キカイ ギジュツ シンコウ キョウカイ ( 00690150 )典拠
出版年月日等
1998.8
出版年(W3CDTF)
1998
数量
272, 4p