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強誘電体メモリ先端プロセス

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強誘電体メモリ先端プロセス

国立国会図書館請求記号
M164-G54
国立国会図書館書誌ID
000002841209
資料種別
図書
著者
塩嵜忠 [ほか]編
出版者
サイエンスフォーラム
出版年
1999.9
資料形態
ページ数・大きさ等
266p ; 31cm
NDC
548.23
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目次

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  • 発刊にあたって

    塩嵜忠

  • 執筆者一覧/ 2

  • 第1篇 強誘電体材料と成膜技術の最前線

  • 第1章 各種成膜技術の最近の展開/ 13

    塩嵜忠

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-916164-31-8
タイトルよみ
キョウユウデンタイ メモリ センタン プロセス
著者・編者
塩嵜忠 [ほか]編
著者標目
塩崎, 忠, 1944- シオサキ, タダシ, 1944- ( 00145880 )典拠
出版年月日等
1999.9
出版年(W3CDTF)
1999
数量
266p