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発刊にあたって
執筆者一覧/ 2
第1篇 強誘電体材料と成膜技術の最前線
第1章 各種成膜技術の最近の展開/ 13
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-916164-31-8
- タイトル
- タイトルよみ
- キョウユウデンタイ メモリ センタン プロセス
- 著者・編者
- 塩嵜忠 [ほか]編
- 著者標目
- 塩崎, 忠, 1944- シオサキ, タダシ, 1944- ( 00145880 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1999.9
- 出版年(W3CDTF)
- 1999
- 数量
- 266p