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高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発 (課題研究成果報告書 ; 2000)

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高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発

(課題研究成果報告書 ; 2000)

国立国会図書館請求記号
PD186-G23
国立国会図書館書誌ID
000002907995
資料種別
図書
著者
伊藤吾朗 [ほか著]
出版者
軽金属奨学会
出版年
2000.6
資料形態
ページ数・大きさ等
123p ; 30cm
NDC
565.52
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資料種別
図書
タイトルよみ
コウシュウセキ カイロ ハイセンヨウ コウセイノウ アルミニウム ゴウキン ノ カイハツ
著者・編者
伊藤吾朗 [ほか著]
シリーズタイトル
著者標目
伊藤, 吾朗, 1956- イトウ, ゴロウ, 1956- ( 00816006 )典拠
出版年月日等
2000.6
出版年(W3CDTF)
2000
数量
123p