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超精密洗浄技術の開発 普及版 (CMC books)

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超精密洗浄技術の開発

普及版

(CMC books)

国立国会図書館請求記号
PA551-G38
国立国会図書館書誌ID
000002995432
資料種別
図書
著者
角田光雄 監修
出版者
シーエムシー
出版年
2000.9
資料形態
ページ数・大きさ等
247p ; 21cm
NDC
576.5
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目次

  • 目次

  • 刊行のねらい

  • 第1章 精密洗浄の技術動向

  • 1 精密洗浄技術/ 1

    角田光雄

  • 1.1 精密洗浄と超精密洗浄/ 1

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資料種別
図書
ISBN
4-88231-083-X
タイトルよみ
チョウ セイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
著者・編者
角田光雄 監修
普及版
シリーズタイトル
著者標目
角田, 光雄, 1934- ツノダ, テルオ, 1934- ( 00086642 )典拠
出版年月日等
2000.9