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シリコンマイクロ加工の基礎

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シリコンマイクロ加工の基礎

国立国会図書館請求記号
ND371-G193
国立国会図書館書誌ID
000003051664
資料種別
図書
著者
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著ほか
出版者
シュプリンガー・フェアラーク東京
出版年
2001.12
資料形態
ページ数・大きさ等
431p ; 27cm
NDC
549.8
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資料に関する注記

一般注記:

原タイトル: Silicon micromachining

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-431-70934-7
タイトルよみ
シリコン マイクロ カコウ ノ キソ
著者・編者
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著
田畑修, 佐藤一雄 訳
出版年月日等
2001.12
出版年(W3CDTF)
2001
数量
431p