Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology : 9-10 November 1983, Cambridge, Massachusetts / Fred H. Pollak, Robert S. Bauer, chairmen/editors.
(Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 452)
国立国会図書館請求記号
M15-A2112
国立国会図書館書誌ID
000003115472
資料種別
図書
著者
Pollak, Fred H.ほか
出版者
SPIE--International Society for Optical Engineering