Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California / Harry L. Stover, chairman/editor. (Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 470)

Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California / Harry L. Stover, chairman/editor.

(Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 470)

国立国会図書館請求記号: M15-A2728
国立国会図書館書誌ID: 000003116745

資料種別: 図書

著者: Stover, Harry L.ほか

出版者: SPIE--the International Society for Optical Engineering

出版年: c1984.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: vi, 269 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0892525053 (pbk.)
タイトル: Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California / Harry L. Stover, chairman/editor.
シリーズタイトル: Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 470
著者標目: Stover, Harry L.
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.
出版事項: Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版年月日等: c1984.
出版年（W3CDTF）: 1984
数量: vi, 269 p. : ill. ; 28 cm.
並列タイトル等: Optical microlithography 3.
Optical microlithography three.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Microlithography -- Congresses.
Integrated circuits -- Very large scale integration -- Congresses.
LCC: TR940
DDC: 621.381/74
NDLC: M15
ND
書誌注記: Includes bibliographies and index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M15-A2728
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003116745
http://id.ndl.go.jp/bib/000003116745
LC control number: 84050822 //r852
https://lccn.loc.gov/84050822
整理区分コード: 211