Semiconductor processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics ... [et al.], San Jose, CA, 7-10 Feb., 1984 ; D.C. Gupta, editor. (ASTM special technical publication)

Semiconductor processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics ... [et al.], San Jose, CA, 7-10 Feb., 1984 ; D.C. Gupta, editor.

(ASTM special technical publication)

国立国会図書館請求記号: ND371-A4
国立国会図書館書誌ID: 000003123948

資料種別: 図書

著者: Gupta, D. C. (Dinesh C.)ほか

出版者: ASTM

出版年: c1984.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 671 p. : ill. ; 24 cm.

NDC: -

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一般注記：: "ASTM publication code number (PCN) 04-850000-46."

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0803104030
タイトル: Semiconductor processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics ... [et al.], San Jose, CA, 7-10 Feb., 1984 ; D.C. Gupta, editor.
シリーズタイトル: ASTM special technical publication
タイトル標目: ASTM special technical publication ; 850.
著者標目: Gupta, D. C. (Dinesh C.)
ASTM Committee F-1 on Electronics.
Symposium on Semiconductor Processing (3rd : 1984 : San Jose, Calif.)
出版事項: Philadelphia, PA : ASTM
出版年月日等: c1984.
出版年（W3CDTF）: 1984
数量: 671 p. : ill. ; 24 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: 半導体. Handotai.
Semiconductor industry -- Congresses.
LCC: TK7871.85
DDC: 621.3815/2
NDLC: ND371
一般注記: "ASTM publication code number (PCN) 04-850000-46."
書誌注記: Includes bibliographies and index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: ND371-A4
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003123948
http://id.ndl.go.jp/bib/000003123948
LC control number: 84018476
https://lccn.loc.gov/84018476
整理区分コード: 211