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Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles. (Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38)

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Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles.

(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38)

国立国会図書館請求記号
M15-A1043
国立国会図書館書誌ID
000003126734
資料種別
図書
著者
Chang, R. P. H. (Robert Pang Heng) , 1941-ほか
出版者
Materials Research Society
出版年
c1985.
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
xv, 522 p. : ill. ; 24 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

Papers presented at the Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials held in Boston, Mass. on Nov. 27-30, 1984.

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
ISBN
0931837030
タイトル
Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles.
シリーズタイトル
Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38
著者標目
Chang, R. P. H. (Robert Pang Heng) , 1941-
Abeles, B.
Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials (1984 : Boston, Mass.)
出版事項
Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年月日等
c1985.
出版年（W3CDTF）
1985
数量
xv, 522 p. : ill. ; 24 cm.
出版地（国名コード）
US