MICROELECTRONIC BONDING PROCESS MONITORING BY INTEGRATED SENSORS

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: MICROELECTRONIC BONDING PROCESS MONITORING BY INTEGRATED SENSORS
• 著者・編者: Michael Mayer.
• 著者標目: Mayer, Michael.
• 出版事項: Zürich : Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
• 出版年月日等: 2000.
• 数量: 2 Microfiches ( 109 fr.) : negative, ill.
• 授与機関名: Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
• 授与年月日: 2000.
• 授与年月日（W3CDTF）: 2000
• 学位論文注記: 博士論文; Thesis (doctoral) --Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, 2000.
• 出版地（国名コード）: CH
• 本文の言語コード: eng
• 資料種別（注記）: [microform]
• 一般注記: Swiss Federal Institute of Technology.
• 書誌注記: Includes bibliographies.; Summary in German and English.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DISE-13685
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003446872; http://id.ndl.go.jp/bib/000003446872
• 整理区分コード: 216