Materials and device characterization in micromachining -- : Materials and device characterization in micromachining : Conference : 3rd : Sep 2000, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 4175)

Materials and device characterization in micromachining -- : Materials and device characterization in micromachining : Conference : 3rd : Sep 2000, Santa Clara, CA.

(SPIE Proceedings ; 4175)

国立国会図書館請求記号: M17-01-0462
国立国会図書館書誌ID: 000003449058

資料種別: 図書

著者: International Society for Optical Engineering.ほか

出版者: SPIE

出版年: 2000.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: v.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers.Index term: materials characterization ; device characterization ; SPIE ; SEMI ; micromachining.BL shelfmark: 6823.100 vol 4175 2000.

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819438316 (pbk)
ISSN: 0277-786X
タイトル: Materials and device characterization in micromachining -- : Materials and device characterization in micromachining : Conference : 3rd : Sep 2000, Santa Clara, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4175
著者標目: International Society for Optical Engineering.
Semiconductor Equipment and Materials International.
Solidstate Technology.
Sandia National Laboratories.
出版事項: SPIE
出版年月日等: 2000.
出版年（W3CDTF）: 2000
数量: v.
並列タイトル等: materials characterization ; device characterization ; SPIE ; SEMI ; micromachining
NDLC: M17
一般注記: Papers.
Index term: materials characterization ; device characterization ; SPIE ; SEMI ; micromachining.
BL shelfmark: 6823.100 vol 4175 2000.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-01-0462
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003449058
http://id.ndl.go.jp/bib/000003449058
UKMARC番号: G07121573
整理区分コード: 215