図書

Materials and device characterization in micromachining -- : Materials and device characterization in micromachining : Conference : 3rd : Sep 2000, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 4175)

図書を表すアイコン

Materials and device characterization in micromachining -- : Materials and device characterization in micromachining : Conference : 3rd : Sep 2000, Santa Clara, CA.

(SPIE Proceedings ; 4175)

国立国会図書館請求記号
M17-01-0462
国立国会図書館書誌ID
000003449058
資料種別
図書
著者
International Society for Optical Engineering.ほか
出版者
SPIE
出版年
2000.
資料形態
ページ数・大きさ等
v.
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

Papers.Index term: materials characterization ; device characterization ; SPIE ; SEMI ; micromachining.BL shelfmark: 6823.100 vol 4175 2000.

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

  • CiNii Research

    検索サービス
    連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
ISBN
0819438316 (pbk)
ISSN
0277-786X
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
2000.
出版年(W3CDTF)
2000
数量
v.