Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films : 2nd Symposium : Oct 1986, San Diego, CA.

• 資料種別: 図書
• タイトル: Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films : 2nd Symposium : Oct 1986, San Diego, CA.
• シリーズタイトル: PV ; 87-10
• 著者標目: Electrochemical Society. Electronics Division.; Electrochemical Society. Dielectrics and Insulation Division.; Electrochemical Society. High Temperature Materials Division.
• 出版事項: Electrochemical Society
• 出版年月日等: 1987.
• 出版年（W3CDTF）: 1987
• 数量: v.
• 並列タイトル等: SILICON NITRIDE THIN INSULATING FILMS ; SILICON DIOXIDE THIN INSULATING FILMS ; ELECTROCHEMICAL
• NDLC: M17; PA
• 一般注記: Papers.; Index term: SILICON NITRIDE THIN INSULATING FILMS ; SILICON DIOXIDE THIN INSULATING FILMS ; ELECTROCHEMICAL.; BL shelfmark: 6695.400 vol pv 87-10 1987.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-87-2481
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003470083; http://id.ndl.go.jp/bib/000003470083
• UKMARC番号: G01002860
• 整理区分コード: 215