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Advanced lithography : Meeting : Feb 1988, Didcot. (IOP Short Meetings Series ; 10)

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Advanced lithography : Meeting : Feb 1988, Didcot.

(IOP Short Meetings Series ; 10)

国立国会図書館請求記号
M17-88-2715
国立国会図書館書誌ID
000003473478
資料種別
図書
著者
Institute of Physics.ほか
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
v.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.Index term: advanced lithography ; lithography ; IOP ; physics.BL shelfmark: 4565.249 vol 10 1988.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
0854985093
ISSN
0269-8986
シリーズタイトル
数量
v.
並列タイトル等
advanced lithography ; lithography ; IOP ; physics
NDLC
一般注記
Papers.
Index term: advanced lithography ; lithography ; IOP ; physics.
BL shelfmark: 4565.249 vol 10 1988.