Deposition and growth : limits for microelectronics : Topical conference : Nov 1987, Anaheim, CA. (American Vacuum Society Series ; 4) (AIP Conference Proceedings ; 167) (CONF ; 8711124)

Deposition and growth : limits for microelectronics : Topical conference : Nov 1987, Anaheim, CA.

(American Vacuum Society Series ; 4) (AIP Conference Proceedings ; 167) (CONF ; 8711124)

国立国会図書館請求記号: M17-89-0096
国立国会図書館書誌ID: 000003473813

資料種別: 図書

著者: American Institute of Physics.ほか

出版者: American Institute of Physics

出版年: 1988.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: v.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers.Held in conjunction with the American Vacuum Society's 34th National symposium.Index term: AVS ; AIP ; microelectronics ; deposition ; growth....

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0883183676
タイトル: Deposition and growth : limits for microelectronics : Topical conference : Nov 1987, Anaheim, CA.
シリーズタイトル: American Vacuum Society Series ; 4
AIP Conference Proceedings ; 167
CONF ; 8711124
著者標目: American Institute of Physics.
American Vacuum Society. Electronic Materials and Processing Division. Thin Films Division.
出版事項: New York : American Institute of Physics
出版年月日等: 1988.
出版年（W3CDTF）: 1988
数量: v.
並列タイトル等: Held in conjunction with the American Vacuum Society's 34th National symposium
AVS ; AIP ; microelectronics ; deposition ; growth
NDLC: M17
ND
一般注記: Papers.
Held in conjunction with the American Vacuum Society's 34th National symposium.
Index term: AVS ; AIP ; microelectronics ; deposition ; growth.
BL shelfmark: 0773.430 no 167 1988.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-89-0096
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003473813
http://id.ndl.go.jp/bib/000003473813
UKMARC番号: G01255007
整理区分コード: 215