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Extreme ultraviolet lithography : Conference on extreme ultraviolet (EUV) lithography : Sep 1994, Monterey, CA. (OSA Proceedings Series ; 23)

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Extreme ultraviolet lithography : Conference on extreme ultraviolet (EUV) lithography : Sep 1994, Monterey, CA.

(OSA Proceedings Series ; 23)

国立国会図書館請求記号
M17-95-1679
国立国会図書館書誌ID
000003498013
資料種別
図書
著者
Optical Society of America.
出版者
OSA
出版年
1994.
資料形態
ページ数・大きさ等
v.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers.Index term: extreme ultraviolet lithography ; OSA ; EUV lithography.BL shelfmark: 6296.798465 vol 23 1994.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
1557523630
シリーズタイトル
出版事項
出版年月日等
1994.
出版年(W3CDTF)
1994
数量
v.
並列タイトル等
extreme ultraviolet lithography ; OSA ; EUV lithography