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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チッソ プラズマソース ブンシセン エピタキシー オ モチイタ チッカブツ ハンドウタイ ノ デンシ デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 井手利英 [著]
- 著者標目
- 井手, 利英 イデ, トシヒデ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2002]
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 明治大学
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