イオンプレーティング法による窒化けい素薄膜の成膜特性と密着性評価

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: イオンプレーティング法による窒化けい素薄膜の成膜特性と密着性評価
• タイトルよみ: イオン プレーティングホウ ニ ヨル チッカ ケイソ ハクマク ノ セイマク トクセイ ト ミッチャクセイ ヒョウカ
• 著者・編者: 石川宏美 [著]
• 著者標目: 石川, 宏美 イシカワ, ヒロミ
• 出版事項: [石川宏美]
• 出版年月日等: 2002
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 千葉大学
• 授与年月日: 平成14年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2002
• 報告番号: 甲第2172号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2002-E362
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003535957; http://id.ndl.go.jp/bib/000003535957
• 整理区分コード: 213