Book of SEMI standards : 日本語版. 2001 第2分冊

• 資料種別: 図書
• ISBN: 4-88420-020-9
• タイトル: Book of SEMI standards : 日本語版
• タイトルよみ: Book of SEMI standards : ニホンゴバン
• 巻次・部編番号: 2001 第2分冊
• 著者標目: SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
• 出版事項: 東京 : SEMIジャパン
• 出版年月日等: 2002.2
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 2冊
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体--規格 ハンドウタイ キカク ( 00611071 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: M361; ND371
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 全45000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M361-G260
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003652602; http://id.ndl.go.jp/bib/000003652602
• 全国書誌番号: 20278008
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: 製造装置(ソフトウェア)（提供元: 国立国会図書館蔵書）

目次

semi 目次

SEMI D27-1000

FPD装置の通信インタフェースのガイド/ 1

SEMI E4-0699

半導体製造装置通信スタンダード1 メッセージトランスファ(SECS-I)/ 5

semi 目次

SEMI E54-0997

センサ/アクチュエータネットワーク スタンダード/ 785

SEMI E54.1-1000

センサ/アクチュエータネットワーク共通デバイスモデルスタンダード/ 795