Book of SEMI standards : 日本語版. 2001 第4分冊

• 資料種別: 図書
• ISBN: 4-88420-022-5
• タイトル: Book of SEMI standards : 日本語版
• タイトルよみ: Book of SEMI standards : ニホンゴバン
• 巻次・部編番号: 2001 第4分冊
• 著者標目: SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
• 出版事項: 東京 : SEMIジャパン
• 出版年月日等: 2002.2
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 808p
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 半導体--規格 ハンドウタイ キカク ( 00611071 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: M361; ND371
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 29000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M361-G260
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003652604; http://id.ndl.go.jp/bib/000003652604
• 全国書誌番号: 20278010
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: 設備及び安全性（提供元: 国立国会図書館蔵書）

目次

semi 目次

SEMI F1-96

高純度ガス配管系及び部品の漏れ完全性仕様/ 1

SEMI F2-94

一般目的の半導体製造アプリケーションに対する316Lステンレススチール管材(仕様)/ 7