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Book of SEMI standards : 日本語版 2001 第4分冊

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Book of SEMI standards : 日本語版. 2001 第4分冊

国立国会図書館請求記号
M361-G260
国立国会図書館書誌ID
000003652604
資料種別
図書
著者
SEMIジャパン
出版者
SEMIジャパン
出版年
2002.2
資料形態
ページ数・大きさ等
808p ; 30cm
NDC
549.8
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資料詳細

内容細目:

設備及び安全性(提供元: 国立国会図書館蔵書)

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目次

  • semi 目次

  • SEMI F1-96

  • 高純度ガス配管系及び部品の漏れ完全性仕様/ 1

  • SEMI F2-94

  • 一般目的の半導体製造アプリケーションに対する316Lステンレススチール管材(仕様)/ 7

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-88420-022-5
タイトルよみ
Book of SEMI standards : ニホンゴバン
巻次・部編番号
2001 第4分冊
著者標目
SEMIジャパン SEMI ジャパン ( 00299615 )典拠
出版年月日等
2002.2
出版年(W3CDTF)
2002
数量
808p