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最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の故障物理と信頼性から見たSi半導体技術の限界 (故障物理研究委員会研究成果報告書 ; 平成13年度)

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最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の故障物理と信頼性から見たSi半導体技術の限界

(故障物理研究委員会研究成果報告書 ; 平成13年度)

国立国会図書館請求記号
ND386-G227
国立国会図書館書誌ID
000003655400
資料種別
図書
著者
日本電子部品信頼性センター
出版者
日本電子部品信頼性センター
出版年
2002.3
資料形態
ページ数・大きさ等
160p ; 30cm
NDC
549.7
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関東

書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
サイシン VLSI ヨウソ ギジュツ サンカマク ト タソウ ハイセン ノ コショウ ブツリ ト シンライセイ カラ ミタ Si ハンドウタイ ギジュツ ノ ゲンカイ
著者標目
日本電子部品信頼性センター ニホン デンシ ブヒン シンライセイ センター ( 00293467 )典拠
出版年月日等
2002.3
出版年(W3CDTF)
2002
数量
160p
大きさ
30cm