セラミックス薄膜研究報告書. 3

• 資料種別: 図書
• タイトル: セラミックス薄膜研究報告書
• タイトルよみ: セラミックス ハクマク ケンキュウ ホウコクショ
• 巻次・部編番号: 3
• 著者標目: 関西大学工業技術研究所 カンサイ ダイガク コウギョウ ギジュツ ケンキュウジョ ( 00286328 )典拠
• 出版事項: [吹田] : 関西大学工業技術研究所
• 出版年月日等: 2002.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 60p
• 大きさ: 30cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 薄膜--論文集 ハクマク ロンブンシュウ ( 00810447 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 英文併載
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-G144
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003655418; http://id.ndl.go.jp/bib/000003655418
• 全国書誌番号: 20289574
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

まえがき

(Ti、Al)コーティングエンドミルの冷風切削特性について —ステンレス鋼材の切削加工への適用—/ 1

スクラッチ試験によるTiNセラミックス皮膜の破壊特性評価 —AE信号によるスクラッチ痕の予測・評価—/ 19

酸素欠陥チタンオキサイド薄膜の熱処理による誘電体特性の改善/ 29