300mm半導体工場のためのCIM/GJG統合解説. 第1巻

• 資料種別: 図書
• タイトル: 300mm半導体工場のためのCIM/GJG統合解説
• タイトルよみ: 300mm ハンドウタイ コウジョウ ノ タメノ CIM GJG トウゴウ カイセツ
• 巻次・部編番号: 第1巻
• 版: 第3版
• 著者標目: 日本電子機械工業会 ニホン デンシ キカイ コウギョウカイ ( 00260740 )典拠
• 出版事項: 東京 : Japan 300mm Technology Conference/EIAJ
• 出版年月日等: 1999.11
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 115p
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: CIM/GJG vision document(300mm integrated vision for semiconductor factories)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ ( 00562913 )典拠
• NDC9版: 549.8 : 電子工学
• NDLC: ND371
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 英文併記
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND371-G210
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003668304; http://id.ndl.go.jp/bib/000003668304
• 全国書誌番号: 20312082
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111