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図書
300mm半導体工場のためのCIM/GJG統合解説 第1巻 第3版
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300mm半導体工場のためのCIM/GJG統合解説. 第1巻
第3版
国立国会図書館請求記号
ND371-G210
国立国会図書館書誌ID
000003668304
資料種別
図書
著者
日本電子機械工業会
出版者
Japan 300mm Technology Conference/EIAJ
出版年
1999.11
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
115p ; 30cm
NDC
549.8
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一般注記:
英文併記
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紙
資料種別
図書
タイトル
300mm半導体工場のためのCIM/GJG統合解説
タイトルよみ
300mm ハンドウタイ コウジョウ ノ タメノ CIM GJG トウゴウ カイセツ
巻次・部編番号
第1巻
版
第3版
著者標目
日本電子機械工業会
ニホン デンシ キカイ コウギョウカイ (
00260740
)
典拠
出版事項
東京 : Japan 300mm Technology Conference/EIAJ
出版年月日等
1999.11
出版年(W3CDTF)
1999
数量
115p
大きさ
30cm
並列タイトル等
CIM/GJG vision document(300mm integrated vision for semiconductor factories)
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
eng
件名標目
半導体
ハンドウタイ (
00562913
)
典拠
NDC9版
549.8 : 電子工学
NDLC
ND371
対象利用者
一般
一般注記
英文併記
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
ND371-G210
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000003668304
http://id.ndl.go.jp/bib/000003668304
全国書誌番号
20312082
目録規則
日本目録規則1987年版改訂版
整理区分コード
111
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