Reliability of micromechanical thin-film resonators

• 資料種別: 博士論文
• ISBN: 90-5166-891-0
• タイトル: Reliability of micromechanical thin-film resonators
• 著者・編者: Robert KAZINCZI.
• 著者標目: Kazinczi, Robert.
• 出版事項: Delft : Technische Universiteit Delft
• 出版年月日等: 2002.
• 数量: 166 p.
• 授与機関名: Technische Universiteit Delft
• 授与年月日: 2002.
• 授与年月日（W3CDTF）: 2002
• 学位論文注記: 博士論文; Thesis (doctoral) --Technische Universiteit Delft, 2002.
• 出版地（国名コード）: NL
• 本文の言語コード: eng
• 書誌注記: Includes bibliographies.; Summary in English and Dutch.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-DINL-3577
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003995905; http://id.ndl.go.jp/bib/000003995905
• 整理区分コード: 216