Recent Advances in metrology : SEMICON Southwest : October 17-18, 2000, Austin Convention Center, Austin, Texas, USA. : Oct 2000, Austin, TX.

• 資料種別: 図書
• タイトル: Recent Advances in metrology : SEMICON Southwest : October 17-18, 2000, Austin Convention Center, Austin, Texas, USA. : Oct 2000, Austin, TX.
• 著者標目: Semiconductor Equipment and Materials International.; SEMATECH.
• 出版事項: SEMI
• 出版年月日等: c2000.
• 出版年（W3CDTF）: 2000
• 数量: v.
• 並列タイトル等: SEMICON, Southwest 2000 : recent advances in metrology : in cooperation with international SEMATECH
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers and presentations.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-1165
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004082286; http://id.ndl.go.jp/bib/000004082286
• 整理区分コード: 215