MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace, and communication 2 : 28-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 4981)

MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace, and communication 2 : 28-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 4981)

国立国会図書館請求記号: M17-03-1652
国立国会図書館書誌ID: 000004101955

資料種別: 図書

著者: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xliv, 248 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819447811
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace, and communication 2 : 28-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4981
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4981.
著者標目: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
Janson, Siegfried W.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: xliv, 248 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Microelectromechanical systems -- Design and construction -- Congresses.
Microelectromechanical systems -- Industrial applications -- Congresses.
Manufacturing processes -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-1652
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004101955
http://id.ndl.go.jp/bib/000004101955
RLIN番号: CUBGGLAD185021060-B
整理区分コード: 215