Micromachining and microfabrication process technology 8 : 27-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 4979)

Micromachining and microfabrication process technology 8 : 27-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 4979)

国立国会図書館請求記号: M17-03-1496
国立国会図書館書誌ID: 000004121125

資料種別: 図書

著者: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: ix, 604 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: Papers.

付属資料：: Errata sheet has tipped in.

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
ISBN: 081944779X
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Micromachining and microfabrication process technology 8 : 27-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4979
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering. v. 4979.
著者標目: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
Yasaitis, John.
Perez-Maher, Mary Ann.
Karam, Jean-Michel.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: ix, 604 p. : ill. ; 28 cm.
付属資料: Errata sheet has tipped in.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Micromachining. -- Congresses.
Microfabrication -- Congresses.
Electromechanical devices -- Design and construction. -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-1496
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004121125
http://id.ndl.go.jp/bib/000004121125
RLIN番号: MOHG52054641-B
整理区分コード: 215