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目次
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序 ナノテクノロジーとITの関わり/ 1
1章 電子デバイス
1・1 シリコンデバイス/ 5
1・1・1 微細MOSデバイス/ 5
1・1・2 新構造MOSデバイス/ 8
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN(セット)
- 4-274-02498-9 (set)
- タイトル
- タイトルよみ
- ナノテクノロジー ハンドブック
- 巻次・部編番号
- 3編(ITヘ使う)
- 著者・編者
- ナノテクノロジーハンドブック編集委員会 編
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2003.5
- 出版年(W3CDTF)
- 2003
- 数量
- 235p