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目次
第1章 薄膜作製技術の歴史と意義
1 はじめに/ 1
2 薄膜の歴史/ 1
3 薄膜の機能と応用/ 4
3.1 薄膜の特徴/ 5
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-88231-400-2
- タイトル
- タイトルよみ
- ジセダイ エレクトロニクス ハクマク ギジュツ
- 著者・編者
- 白木靖寛 監修
- 著者標目
- 白木, 靖寛, 1942- シラキ, ヤスヒロ, 1942- ( 00911032 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2003.5
- 出版年（W3CDTF）
- 2003
- 数量
- 253p