19th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents : 13-15 January 2003 : Sonthofen, Germany. : Jan 2003, Sonthofen, Germany. (SPIE Proceedings ; 5148)

19th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents : 13-15 January 2003 : Sonthofen, Germany. : Jan 2003, Sonthofen, Germany.

(SPIE Proceedings ; 5148)

国立国会図書館請求記号: M17-03-5330
国立国会図書館書誌ID: 000004176962

資料種別: 図書

著者: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: li, 264 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: Papers and presentations.

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
紙
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819450189
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: 19th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponents : 13-15 January 2003 : Sonthofen, Germany. : Jan 2003, Sonthofen, Germany.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 5148
著者標目: VDE/VDI. Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering (GMM)
Behringer, Uwe F W, Ed.
Forschungszentrum Karlsruhe. Institute for Microstructure Technology.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: li, 264 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: mask technology.
integrated circuits.
microcomponents.
SPIE.
VDE.
EMC.
NDLC: M17
一般注記: Papers and presentations.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-5330
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004176962
http://id.ndl.go.jp/bib/000004176962
RLIN番号: UKBWG07887487-B
整理区分コード: 215