Design and process integration for microelectronic manufacturing 2 : 26-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 5042)

Design and process integration for microelectronic manufacturing 2 : 26-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA.

(SPIE Proceedings ; 5042)

国立国会図書館請求記号: M17-04-488
国立国会図書館書誌ID: 000004205058

資料種別: 図書

著者: Starikov, Alexander, 1952-

出版者: SPIE

出版年: c2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: viii, 418 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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一般注記：: Papers.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819448478
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Design and process integration for microelectronic manufacturing 2 : 26-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 5042
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering. v. 5042.
著者標目: Starikov, Alexander, 1952-
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: viii, 418 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Integrated circuits -- Design and construction. -- Congresses.
Integrated circuits -- Defects -- Analysis -- Congresses.
Semiconductors -- Design and construction. -- Congresses.
Semiconductor wafers -- Defects -- Analysis -- Congresses.
Microelectronics industry -- Quality control -- Congresses.
Quality control. -- Congresses.
LCC: TK7874
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-04-488
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004205058
http://id.ndl.go.jp/bib/000004205058
RLIN番号: MOHG52734795-B
整理区分コード: 215