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目次
総論—マイクロテクノロジーへの展開—/ 25
1. マイクロマシンの範囲をめぐって/ 25
2. 歴史的にみたマイクロマシン/ 26
3. MEMS事始/ 29
4. 実用化に向けて/ 30
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北日本
福島県立図書館
紙- 請求記号：
- 530-M1
- 図書登録番号：
- 304268691
関東
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 530.3-5008-2003
- 図書登録番号：
- 5007980899
横浜市立図書館
紙- 請求記号：
- 530
- 図書登録番号：
- 2030635232
東海・北陸
名古屋市図書館
紙- 請求記号：
- R53036//
- 図書登録番号：
- 0210570800
近畿
滋賀県立図書館
紙- 請求記号：
- 3-5300-ﾏ
- 図書登録番号：
- 140158635
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-915957-40-3
- タイトルよみ
- マイクロ マシン ギジュツ ソウラン : ナノテクノロジー ノ キバン ギジュツ
- 著者・編者
- マイクロマシン技術総覧編集委員会 編
- 出版年月日等
- 2003.1
- 出版年（W3CDTF）
- 2003
- 数量
- 753, 6p
- 大きさ
- 27cm