博士論文

減圧真空装置内ウェーハ表面有機物汚染に関する研究

博士論文を表すアイコン

減圧真空装置内ウェーハ表面有機物汚染に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-K29
国立国会図書館書誌ID
000004214659
資料種別
博士論文
著者
林輝幸 [著]
出版者
[林輝幸]
出版年
[2002]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

博士論文

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
博士論文
タイトルよみ
ゲンアツ シンクウ ソウチナイ ウェーハ ヒョウメン ユウキブツ オセン ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
林輝幸 [著]
著者標目
林, 輝幸 ハヤシ, テルユキ
出版事項
出版年月日等
[2002]
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
東北大学