博士論文

シリコンエピタキシャル層のバルクキャリアライフタイム評価法に関する研究

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シリコンエピタキシャル層のバルクキャリアライフタイム評価法に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-K945
国立国会図書館書誌ID
000004220391
資料種別
博士論文
著者
高橋秀典 [著]
出版者
[高橋秀典]
出版年
2003
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
千葉工業大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
シリコン エピタキシャルソウ ノ バルク キャリア ライフタイム ヒョウカホウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
高橋秀典 [著]
著者標目
高橋, 秀典 タカハシ, ヒデノリ
出版事項
出版年月日等
2003
出版年(W3CDTF)
2003
数量
1冊
授与機関名
千葉工業大学