Nanostructure science, metrology, and technology : 5-7 September 2001 : Gaithersburg, USA. : Sep 2001, Gaithersburg, MD. (SPIE Proceedings ; 4608)

Nanostructure science, metrology, and technology : 5-7 September 2001 : Gaithersburg, USA. : Sep 2001, Gaithersburg, MD.

(SPIE Proceedings ; 4608)

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資料種別: 図書
ISBN: 0819443476
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Nanostructure science, metrology, and technology : 5-7 September 2001 : Gaithersburg, USA. : Sep 2001, Gaithersburg, MD.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4608
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering. v. 4608.
著者標目: Peckerar, Martin Charles, 1946-
Postek, Michael T.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2002.
出版年（W3CDTF）: 2002
数量: x, 278 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Nanotechnology -- Congresses.
Nanostructures -- Congresses.
Metrology -- Congresses.
Microelectronics -- Congresses.
LCC: T174.7
NDLC: M17
一般注記: Papers and presentations.
書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-4170
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004231729
http://id.ndl.go.jp/bib/000004231729
RLIN番号: MOHG50514238-B
整理区分コード: 215