窒化物半導体のプラズマプロセスおよびナノ構造の形成とその応用に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 窒化物半導体のプラズマプロセスおよびナノ構造の形成とその応用に関する研究
• タイトルよみ: チッカブツ ハンドウタイ ノ プラズマ プロセス オヨビ ナノ コウゾウ ノ ケイセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 吉田治正 [著]
• 著者標目: 吉田, 治正 ヨシダ, ハルマサ
• 出版事項: [吉田治正]
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 三重大学
• 授与年月日: 平成15年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2003
• 報告番号: 甲第962号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2003-U614
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004306844; http://id.ndl.go.jp/bib/000004306844
• 整理区分コード: 213