2003 IEEE international symposium on semiconductor manufacturing : conference proceedings : September 30-October 2, 2003 : San Jose, California. : Sep 2003, San Jose, CA.

著者: IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing (2003 : San Jose, California)

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資料種別: 図書
ISBN: 0780378946
ISSN: 1523-553X
タイトル: 2003 IEEE international symposium on semiconductor manufacturing : conference proceedings : September 30-October 2, 2003 : San Jose, California. : Sep 2003, San Jose, CA.
著者標目: IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing (2003 : San Jose, California)
出版事項: Piscataway : IEEE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: x, 521 p. : ill. ; 28 cm.
並列タイトル等: ISSM 2003
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Electronic industries. -- Congresses.
Semiconductors -- Design and construction. -- Congresses.
Computer integrated manufacturing systems -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
IEEE cat no 03CH37462.
書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-04-1627
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004338215
http://id.ndl.go.jp/bib/000004338215
RLIN番号: MOHG53186268-B
整理区分コード: 215