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マイクロエレクトロニクスからナノエレクトロニクスへ : ポスト超LSIを求めて (応用物理学会スクール : テキスト ; 第15回)

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マイクロエレクトロニクスからナノエレクトロニクスへ : ポスト超LSIを求めて

(応用物理学会スクール : テキスト ; 第15回)

国立国会図書館請求記号
ND386-H70
国立国会図書館書誌ID
000004347155
資料種別
図書
著者
応用物理学会
出版者
応用物理学会
出版年
1994.9
資料形態
ページ数・大きさ等
67p ; 26cm
NDC
549.7
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資料に関する注記

一般注記:

会期・会場: 1994年9月20日 名城大学JSAP catalog no.AP941327

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目次

  • プログラム(目次)

  • 「マイクロエレクトロニクスからナノエレクトロニクスへ」-ポスト超LSIを求めて-

  • 9:30 総論/ 1

    菅野卓雄(東洋大工)

  • 10:40 シリコンULSIデバイス-シリコンULSIの極微細化はどこまで可能か?-/ 11

    舛岡富士雄(東芝ULSI研)

  • 11:50〜13:00 昼食

書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロエレクトロニクス カラ ナノエレクトロニクス エ : ポスト チョウ LSI オ モトメテ
著者標目
応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
出版年月日等
1994.9
出版年(W3CDTF)
1994
数量
67p
大きさ
26cm