End-of-Fabrication CMOS Process Monitor

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: End-of-Fabrication CMOS Process Monitor
• 著者・編者: Buehler, M. G; Allen, R. A; Blaes, B. R; Hannaman, D. J; Lieneweg, U
• 数量: microfiche 112 p
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : NASA-CR-189761; テクニカルリポート番号 : N92-16200; テクニカルリポート番号 : NAS-126189761; テクニカルリポート番号 : JPL-PUBL-9051
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-N92/16200
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004951933; http://id.ndl.go.jp/bib/000004951933
• 整理区分コード: 291