The Effect of Ta2O5 on the Interaction Between Silicon and Its Contact Metallization

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: The Effect of Ta2O5 on the Interaction Between Silicon and Its Contact Metallization
• 著者・編者: Weizer, V. G
• 数量: microfiche 10 p
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : NASA-TM-82948; テクニカルリポート番号 : N83-10554; テクニカルリポート番号 : NAS-11582948; テクニカルリポート番号 : E-1354
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-N83/10554
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004979062; http://id.ndl.go.jp/bib/000004979062
• 整理区分コード: 291