Swords to plowshares: Shock wave applications to advanced lithography

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Swords to plowshares: Shock wave applications to advanced lithography
• 著者・編者: Trucano, T. G; Grady, D. E; Kubiak, G. D; Kipp, M. E; Olson, R. E; Farnsworth, A
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 18 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-0307C; テクニカルリポート番号 : DE95 008154; テクニカルリポート番号 : CONF-941013112
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/008154
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005512535; http://id.ndl.go.jp/bib/000005512535
• 整理区分コード: 291