Dynamic observation of electrochemical etching in silicon

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Dynamic observation of electrochemical etching in silicon
• 著者・編者: Ross, F. M; Searson, P. C
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 4 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : LBL-37086; テクニカルリポート番号 : DE95 012359; テクニカルリポート番号 : CONF-95031252
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/012359
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005521656; http://id.ndl.go.jp/bib/000005521656
• 整理区分コード: 291