High average power laser for EUV lithography

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: High average power laser for EUV lithography
• 著者・編者: Kania, D. R; Gaines, D. P; Hermann, M; Honig, J; Hostetler, R
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 6 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-119630; テクニカルリポート番号 : DE95 014689; テクニカルリポート番号 : CONF-950917712
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/014689
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005537961; http://id.ndl.go.jp/bib/000005537961
• 整理区分コード: 291