Selective Au-Si eutectic bonding for Si-based MEMS applications

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Selective Au-Si eutectic bonding for Si-based MEMS applications
• 著者・編者: Lee, A; Lehew, S; Yu, C
• 出版年月日等: 1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 12 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-120817; テクニカルリポート番号 : DE95 017294; テクニカルリポート番号 : CONF-95051815
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE95/017294
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005538594; http://id.ndl.go.jp/bib/000005538594
• 整理区分コード: 291