Mechanisms of iron gettering in silicon by boron ion-implantation CONF-950518-18 DE96 005438

Mechanisms of iron gettering in silicon by boron ion-implantation

CONF-950518-18 DE96 005438

国立国会図書館請求記号: LS-DE96/005438
国立国会図書館書誌ID: 000005559926

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Benton, J. Lほか

出版者: -

出版年: 1995

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 13 p. (1 microfiche)

NDC: -

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Mechanisms of iron gettering in silicon by boron ion-implantation
著者・編者: Benton, J. L
Stolk, P. A
Eaglesham, D. J
Jacobson, D. C
Cheng, J. Y
出版年月日等: 1995
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 13 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : CONF-950518-18
テクニカルリポート番号 : DE96 005438
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE96/005438
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005559926
http://id.ndl.go.jp/bib/000005559926
整理区分コード: 291

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