New application for x-ray lithography: Fabrication of blazed diffractive optical elements with a deep phase profile ANL/XFD/CP-89660 DE96 009050 CONF-96031402

New application for x-ray lithography: Fabrication of blazed diffractive optical elements with a deep phase profile

ANL/XFD/CP-89660 DE96 009050 CONF-96031402

国立国会図書館請求記号: LS-DE96/009050
国立国会図書館書誌ID: 000005776107

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Makarov, O. Aほか

出版者: -

出版年: 1996

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 7 p. (1 microfiche)

NDC: -

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: New application for x-ray lithography: Fabrication of blazed diffractive optical elements with a deep phase profile
著者・編者: Makarov, O. A
Chen, Z
Krasnoperova, A. A
Cerrina, F
Cherkashin, V. V
出版年月日等: 1996
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 7 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : ANL/XFD/CP-89660
テクニカルリポート番号 : DE96 009050
テクニカルリポート番号 : CONF-96031402
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE96/009050
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005776107
http://id.ndl.go.jp/bib/000005776107
整理区分コード: 291

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