III-Nitride ion implantation and device processing

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: III-Nitride ion implantation and device processing
• 著者・編者: Zolper, J. C; Shul, R. J; Baca, A. G; Pearton, S. J; Abernathy, C. R
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 10 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-1407C; テクニカルリポート番号 : DE96 011840; テクニカルリポート番号 : CONF-96050216
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/011840
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005855461; http://id.ndl.go.jp/bib/000005855461
• 整理区分コード: 291