Debris-free laser plasma sources for EUVL based on gas jets

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Debris-free laser plasma sources for EUVL based on gas jets
• 著者・編者: Kubiak, G. D; O'Connell, D; Krenz, K. D
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 4 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-8482C; テクニカルリポート番号 : DE96 006813; テクニカルリポート番号 : CONF-9605902
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/006813
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005855478; http://id.ndl.go.jp/bib/000005855478
• 整理区分コード: 291